Ученые МФТИ разработали уникальный литограф для создания 3D-объектов с размерами элементов 150 нм и разрешением 350 нм. Он должен заменить иностранные дорогие приборы. Новое оборудование будет применяться при создании элементов фотонных интегральных схем, систем для роста тканей, а также для прототипирования микроэлектронных элементов.